टेफ्लोन लेपित सिरेमिक एन्ड इफेक्टर - संवेदनशील वेफर ह्यान्डलिङको लागि नन-स्टिक सतह

सेन्ट सेराको टेफ्लोन (PTFE) लेपित सिरेमिक एन्ड इफेक्टरले उच्च-शक्तिको एल्युमिना सब्सट्रेटलाई एकसमान, कम-घर्षण PTFE कोटिंग (मोटाई १५-३० μm) सँग जोड्दछ। कोटिंगले घर्षणको अत्यन्तै कम गुणांक (≤०.१), उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध, र नन-स्टिक गुणहरू प्रदान गर्दछ, वेफर आसंजनलाई रोक्छ र पछाडिको प्रदूषण हटाउँछ। अन्तर्निहित सिरेमिक सब्सट्रेट (९९.८% Al₂O₃) ले उच्च लचिलो शक्ति (३६१-१००० MPa), पहिरन प्रतिरोध, र २६०°C (कोटिंग सीमा) सम्म थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ। यो एन्ड इफेक्टर नाजुक, पातलो, वा टाँसिने वेफरहरू (जस्तै, फोटोरेसिस्ट कोटिंग वा रासायनिक प्रक्रियाहरू पछि) ह्यान्डल गर्नको लागि आदर्श हो।

निर्दिष्टीकरणहरू (PTFE कोटिंग भएको ९९.८% Al₂O₃ सब्सट्रेटमा आधारित):

नोट: PTFE कोटिंगले अधिकतम तापक्रम २६०°C सम्म सीमित गर्छ; उच्च तापक्रमको प्रयोगको लागि, अनकोटेड सिरेमिक वा अन्य कोटिंगहरू विचार गर्नुहोस्।

अनुप्रयोगहरू:

• · फोटोरेसिस्ट कोटिंग पछि वेफरहरू ह्यान्डल गर्ने (टाँसिने सतहहरू)
• · पातलो वा कमजोर वेफरहरूको स्थानान्तरण (टाँसिनबाट रोक्छ)
• · अर्धचालक निरीक्षण र मापन उपकरणहरू
• · सफा कोठा स्वचालन जहाँ कण प्रदूषण कम गर्नुपर्छ

उत्पादन प्रक्रिया:

सिरेमिक सब्सट्रेट सिन्टर्ड र प्रेसिजन ग्राउन्ड → सतह रफनिङ (प्लाज्मा इच वा ग्रिट ब्लास्ट) → PTFE स्प्रे कोटिंग → ३८०°C मा ताप उपचार → अन्तिम निरीक्षण। प्रत्येक एन्ड इफेक्टर कोटिंग मोटाई (एडी करेन्ट), आसंजन (क्रस-कट परीक्षण ASTM D3359), र घर्षण गुणांकको लागि जाँच गरिन्छ।

गुणस्तर नियन्त्रण:

पिनहोल वा बबलहरूको लागि १००% दृश्य निरीक्षण; ±५ μm भित्र कोटिंग मोटाई एकरूपता; साक्षी कुपनमा ९०° बेन्ड परीक्षण पछि कुनै डिलेमिनेशन छैन। OEM सहिष्णुतामा आयामी जाँच (लम्बाइ ±०.०५ मिमी, समतलता ≤०.१ मिमी)।

अनकोटेड वा अन्य कोटिंग्स भन्दा फाइदाहरू:

• · नन-स्टिक सतहले वेफरको टाँसिने र फुट्नबाट रोक्छ
• · सिरेमिक कोटिंग्स बीच घर्षणको सबैभन्दा कम गुणांक
• · उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध (एसिड, बेस, विलायक)
• · सामग्री स्थानान्तरण रोकेर कण उत्पादन घटाउँछ

सीमाहरू (भौतिक विचलनमा टिप्पणीहरू):

PTFE कोटिंग प्रदान गरिएको सामग्री गुण तालिकाहरू (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) बाट लिइएको होइन। सब्सट्रेट गुणहरूले आपूर्ति गरिएको डेटाशीट (99.8% Al₂O₃) लाई कडाईका साथ पालना गर्दछ। कोटिंग गुणहरू उद्योग-मानक PTFE विशिष्टताहरूमा आधारित छन्, किनकि कुनै कोटिंग डेटा प्रदान गरिएको थिएन। 260°C भन्दा बढी अनुप्रयोगहरूको लागि, एक अनकोटेड सिरेमिक एन्ड इफेक्टर सिफारिस गरिन्छ।*

अनुकूलन:

१५०–१५०० मिमी लम्बाइ, टिप आकारहरू (किनारा ग्रिप, बर्नौली, फ्ल्याट), OEM रेखाचित्र अनुसार माउन्टिङ फ्ल्यान्ज ढाँचाहरूमा उपलब्ध छ। आंशिक कोटिंग (सम्पर्क क्षेत्रहरू मात्र) वा पूर्ण कभरेज वैकल्पिक।

आसंजन र घर्षण परीक्षणको लागि नमूना अनुरोध गर्नुहोस्।