अर्धचालक प्रक्रिया फिक्स्चरको लागि सिरेमिक सपोर्टिङ पिन

सेन्टसेराको सिरेमिक सपोर्टिङ पिनहरू (जसलाई लिफ्ट पिन वा सपोर्ट पिन पनि भनिन्छ) अर्धचालक प्रक्रिया कक्षहरूमा ह्यान्डलिङ, तताउने वा चिसो पार्ने क्रममा वेफर वा सब्सट्रेटहरू माथि उठाउन प्रयोग गरिन्छ। ९९.८% एल्युमिना वा सिलिकन नाइट्राइडबाट निर्मित, यी पिनहरूले उच्च कम्प्रेसिभ शक्ति, थर्मल स्थिरता, र रासायनिक प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। गोलार्ध वा समतल टिप डिजाइनले वेफर स्क्र्याचिङलाई रोक्छ।

निर्दिष्टीकरणहरू(एल्युमिना ९९.८%):

अनुप्रयोगहरू:

CVD/PVD चेम्बरहरूमा लिफ्ट पिनहरू

हटप्लेट बेकिंगको लागि सपोर्ट पिनहरू

प्रोब कार्ड समर्थन संरचनाहरू

क्वार्ट्ज फर्नेस डुङ्गा समर्थन गर्दछ

निर्माण:

OD को सटीक केन्द्रविहीन ग्राइन्डिङ → टिप प्रोफाइलको हीरा ग्राइन्डिङ → अल्ट्रासोनिक सफाई → १००% आयामी निरीक्षण।

गुणस्तर नियन्त्रण:

लम्बाइ/व्यासको लागि CMM, टिप रेडियसको लागि अप्टिकल तुलनाकर्ता, कम्प्रेसिभ शक्ति प्रमाणित गर्न लोड परीक्षण (प्रति लट अनियमित नमूना)। कुनै फेरोम्याग्नेटिक प्रदूषण छैन (चुम्बकद्वारा प्रमाणित)।

धातु वा क्वार्ट्ज पिन भन्दा फाइदाहरू:

स्टेनलेस स्टील भन्दा ५ गुणा लामो आयु

प्रक्रिया कक्षमा कुनै धातु प्रदूषण छैन

क्वार्ट्ज भन्दा उच्च तापक्रम क्षमता (१६००°C बनाम ११००°C)

नन-स्टिक सतह (कण आसंजन कम)

अनुकूलन:

धेरै टिप प्रोफाइलहरू, थ्रेडेड आधार, वा टेपर्ड शाफ्ट।

हामी चरम प्लाज्मा वातावरणको लागि SiC पिनहरू पनि आपूर्ति गर्छौं।