CVD / PVD प्रक्रिया कक्षहरूको लागि अनुकूलित उच्च-शुद्धता एल्युमिना सिरेमिक रिंग निर्माता र आपूर्तिकर्ता

CVD / PVD प्रक्रिया कक्षहरूको लागि उच्च-शुद्धता एल्युमिना सिरेमिक रिंग

छोटो वर्णन:

सेन्ट सेराको सिरेमिक रिंग विशेष गरी CVD (रासायनिक भाप निक्षेपण) र PVD (भौतिक भाप निक्षेपण) प्रक्रिया कक्षहरूमा प्रयोगको लागि डिजाइन गरिएको हो। ९९.८% उच्च-शुद्धता एल्युमिना (Al₂O₃) बाट निर्मित, यो रिंगले प्लाज्मालाई सीमित गर्न र चेम्बर भित्ताहरूलाई क्षरणबाट जोगाउन चेम्बर लाइनर, फोकस रिंग, वा प्रक्रिया किट घटकको रूपमा काम गर्दछ। सामग्रीले उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध, उच्च डाइइलेक्ट्रिक शक्ति (१५×१०⁶ V/m), र १६००°C सम्म थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ, आक्रामक फ्लोरिन-आधारित प्लाज्मा वातावरणमा लामो सेवा जीवन सुनिश्चित गर्दछ। सटीक आयामी सहिष्णुता (ID/OD मा ±०.०५ मिमी) र समतलता (≤१० μm) ले निरन्तर वेफर किनारा स्थिति सक्षम गर्दछ, निक्षेपण एकरूपता सुधार गर्दछ र कण उत्पादन घटाउँछ।

हामीलाई इमेल पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

उत्पादन ट्यागहरू

विशिष्टताहरू (९९.८% Al₂O₃ मा आधारित):

सम्पत्ति	मूल्य
सामाग्री	९९.८% एल्युमिना (हात्तीदाँत)
घनत्व	३.९३ ग्राम/सेमी³
पानी अवशोषण	0%
लचिलो शक्ति	३६१ एमपीए
फ्र्याक्चरको कठोरता	३–४ MPa·m¹/²
विकर्स कठोरता	१६ जिपीए
यंगको मोड्युलस	३८० जिपीए
थर्मल चालकता	३२ वाट/वर्ग किलोमिटर
थर्मल एक्सपान्सन (२५–१०००°C)	७.२×१०⁻⁶/℃
डाइलेक्ट्रिक शक्ति	१५×१०⁶ V/m
विशिष्ट प्रतिरोध	>१०¹⁴ Ω·सेमी
अधिकतम सञ्चालन तापक्रम	१६०० डिग्री सेल्सियस

अनुप्रयोगहरू:

· CVD चेम्बर फोकस रिङ र एज रिङहरू
· PVD चेम्बर शिल्ड रिंगहरू र क्ल्याम्प रिंगहरू
· एच चेम्बर लाइनर र कभर रिंगहरू
· डाइइलेक्ट्रिक इच प्रणालीहरूमा प्लाज्मा कन्फिनमेन्ट रिंगहरू

उत्पादन प्रक्रिया:

आइसोस्टेटिक प्रेसिंग → हरियो मेसिनिंग → १६००°C मा सिन्टरिंग → CNC ID/OD ग्राइन्डिंग → सतह ल्यापिंग → अल्ट्रासोनिक सफाई → १००% CMM निरीक्षण। अल्ट्रा-स्मूथ सतह फिनिश (Ra ≤०.४ μm) ले कण आसंजनलाई कम गर्छ।

गुणस्तर नियन्त्रण:

१००% आयामी जाँच (आईडी, ओडी, मोटाई, समतलता)
· सतह सूक्ष्म-दरारहरूको लागि डाई प्रवेश निरीक्षण
· ASTM D149 अनुसार डाइलेक्ट्रिक शक्ति परीक्षण
· २०× माइक्रोस्कोप मुनि देखिने रङ्गीनता वा छिद्र छैन

धातु वा क्वार्ट्ज रिंगहरू भन्दा फाइदाहरू:

· फ्लोरिन प्लाज्मामा एल्युमिनियम रिंगहरू भन्दा ५-१०× लामो जीवनकाल
· पातलो फिल्महरूमा धातुको प्रदूषण हुँदैन
· क्वार्ट्ज भन्दा उच्च प्लाज्मा प्रतिरोध (क्षरण खाडलहरू छैनन्)
· लामो समयसम्म प्रयोग गरेपछि पनि १०¹⁴ Ω·सेमीभन्दा बढीको विद्युतीय इन्सुलेशन कायम राख्छ।

वैकल्पिक सामग्री — सिलिकन नाइट्राइड (Si₃N₄):

अझ उच्च फ्र्याक्चर कठोरता (६.२ MPa·m¹/²) र राम्रो थर्मल झट्का प्रतिरोध (विस्तार गुणांक ३.२×१०⁻⁶/℃) चाहिने अनुप्रयोगहरूको लागि, Si₃N₄ रिंगहरू उपलब्ध छन्। यद्यपि, धेरैजसो CVD/PVD अनुप्रयोगहरूको लागि एल्युमिना बढी लागत-प्रभावी छ। अर्डर गर्दा कृपया सामग्री प्राथमिकता निर्दिष्ट गर्नुहोस्।

अनुकूलन: