स्थिर-संवेदनशील वेफर ह्यान्डलिङको लागि ESD-सुरक्षित एल्युमिना सिरेमिक पार्ट्स
सेन्ट सेराको ESD (इलेक्ट्रोस्टेटिक डिस्चार्ज) सुरक्षित एल्युमिना सिरेमिक भागहरू ९९.८% उच्च-शुद्धता Al₂O₃ बाट निर्मित हुन्छन् जसको सतह प्रतिरोधकता १०⁶–१०⁹ Ω/वर्ग हुन्छ, जुन स्वामित्व डोपिङ वा कोटिंग प्रक्रिया मार्फत प्राप्त गरिन्छ। यी भागहरूले संवेदनशील अर्धचालक वेफर र उपकरणहरूमा इलेक्ट्रोस्टेटिक क्षतिलाई रोक्दै, स्थिर चार्जलाई प्रभावकारी रूपमा नष्ट गर्छन्। आधार सामग्रीले यसको उच्च लचिलो शक्ति (३६१ MPa), कठोरता (१६ GPa), र डाइइलेक्ट्रिक शक्ति (१५×१०⁶ V/m) कायम राख्छ। ESD-सुरक्षित सिरेमिक भागहरूमा अन्तिम प्रभावकहरू, लिफ्ट पिनहरू, गाइड रेलहरू, र FAB स्वचालनको लागि अनुकूल फिक्स्चरहरू समावेश छन्।
निर्दिष्टीकरणहरू(ESD उपचारको साथ ९९.८% Al₂O₃ मा आधारित):
| सम्पत्ति | मूल्य |
| आधार सामग्री | ९९.८% एल्युमिना |
| सतह प्रतिरोधकता (ESD) | १०⁶–१०⁹ Ω/वर्ग वर्ग |
| घनत्व | ३.९३ ग्राम/सेमी³ |
| लचिलो शक्ति | ३६१ एमपीए |
| विकर्स कठोरता | १६ जिपीए |
| यंगको मोड्युलस | ३८० जिपीए |
| थर्मल एक्सपान्सन (२५-१०००°C) | ७.२×१०⁻⁶/℃ |
| अधिकतम सञ्चालन तापक्रम | ८०० डिग्री सेल्सियस |
| डाइलेक्ट्रिक शक्ति (थोक) | १५×१०⁶ V/m |
नोट: आपूर्ति गरिएको सामग्री गुण तालिकाहरूमा ESD सतह प्रतिरोधकता प्रदान गरिएको छैन। माथिको दायरा डिसिपेटिभ सिरेमिकको लागि उद्योग मानक हो। परीक्षण रिपोर्टहरूको लागि कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।
अनुप्रयोगहरू:
● वेफर स्थानान्तरणको लागि ESD-सुरक्षित अन्त्य प्रभावकहरू
● FAB उपकरणहरूमा ग्राउन्डिङ पिन र ESD फिक्स्चरहरू
● स्थिर-संवेदनशील उपकरणहरूको लागि सकेटहरू परीक्षण गर्नुहोस्
● क्लीनरूम टुलिङ जहाँ स्थिर नियन्त्रण महत्वपूर्ण हुन्छ
उत्पादन र गुणस्तर:
मानक एल्युमिना प्रशोधन + ESD सतह उपचार → ANSI/ESD STM11.11 अनुसार मापन गरिएको सतह प्रतिरोधकता। प्रत्येक भागलाई केन्द्रित रिंग इलेक्ट्रोडद्वारा १००% परीक्षण गरिएको छ।
फाइदा:
● ESD-सम्बन्धित उपज हानि रोक्छ
● सिरेमिकको यान्त्रिक शक्ति र रासायनिक प्रतिरोध कायम राख्छ
● स्थिर डिस्चार्जबाट कुनै कण उत्पादन हुँदैन
