उच्च-तापमान चेम्बर सिलिङको लागि उच्च-शुद्धता एल्युमिना सिरेमिक सिल रिंग
सेन्ट सेराको सिरेमिक सिल रिंगलाई इलास्टोमरहरू घट्ने चरम वातावरणमा पोलिमर ओ-रिंगहरूको विकल्पको रूपमा डिजाइन गरिएको छ। ९९.८% उच्च-शुद्धता एल्युमिना (Al₂O₃) बाट निर्मित, यो कठोर सिल रिंग स्थिर सिलिङ अनुप्रयोगहरूमा प्रयोग गरिन्छ - सामान्यतया नरम धातु वा ग्रेफाइट ग्यास्केटसँग जोडिएको - ८००°C सम्मको तापक्रममा र आक्रामक प्लाज्मा वा रासायनिक वातावरणमा भरपर्दो भ्याकुम वा ग्यास कन्टेनमेन्ट प्रदान गर्न। सामग्रीले शून्य आउटग्यासिङ, उच्च कम्प्रेसिभ शक्ति (अन्तर्निहित फ्लेक्सुरल शक्ति ३६१ MPa), र रासायनिक जडत्व (HF बाहेक हलोजन, एसिड र क्षार प्रतिरोधी) प्रदान गर्दछ। प्रेसिजन-ल्याप गरिएको सिलिङ सतहहरू (समतलता ≤५ μm, सतहको खुरदरापन Ra ≤०.२ μm) ले मिलन धातु वा सिरेमिक घटकहरूसँग चुहावट-कडा सम्पर्क सुनिश्चित गर्दछ।
निर्दिष्टीकरणहरू(९९.८% Al मा आधारित)₂O₃):
| सम्पत्ति | मूल्य |
| सामाग्री | ९९.८% एल्युमिना (हात्तीदाँत) |
| घनत्व | ३.९३ ग्राम/सेमी³ |
| पानी अवशोषण | 0% |
| लचिलो शक्ति | ३६१ एमपीए |
| कम्प्रेसिभ शक्ति (अनुमानित) | >२००० MPa |
| विकर्स कठोरता | १६ जिपीए |
| थर्मल एक्सपान्सन (२५–१०००°C) | ७.२×१०⁻⁶/℃ |
| अधिकतम सञ्चालन तापक्रम | ८००°C (हावा), १६००°C (जड) |
| सतह फिनिश (सिलिङ फेस) | Ra ≤0.2 μm (ल्याप गरिएको) |
| समतलता (प्रति २५ मिमी) | ≤५ माइक्रोमिटर |
| हेलियम चुहावट दर | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (उपयुक्त ग्यास्केट सहित) |
अनुप्रयोगहरू:
- · अर्धचालक प्रक्रिया कक्ष स्थिर सिलहरू (CVD, PVD, इच)
- · उच्च-तापमान भट्टी ढोका सिलहरू
- · भ्याकुम फिडथ्रु फ्ल्याङ्गहरू
- · रासायनिक रिएक्टर पोत बन्द गर्ने
उत्पादन प्रक्रिया:
आइसोस्टेटिक प्रेसिंग → १६००°C मा सिन्टरिंग → अल्ट्रा-फ्ल्याट, चिल्लो सीलिंग फेसहरू प्राप्त गर्न सटीक डबल-साइड ल्यापिंग → किनारा च्याम्फरिंग → अल्ट्रासोनिक सफाई। प्रत्येक औंठी मानक धातु ग्यास्केटको साथ हेलियम चुहावट डिटेक्टरमा १००% चुहावट-परीक्षण गरिन्छ।
गुणस्तर नियन्त्रण:
- · CMM आयामी जाँच (आईडी, OD, मोटाई, समानान्तरता)
- · रा र तरंगको लागि सतह प्रोफाइलमीटर
- · अप्टिकल फ्ल्याट प्रयोग गरेर समतलता मापन
- · हेलियम चुहावट परीक्षण (ब्याक-प्रेसराइजेसन विधि)
पोलिमर ओ-रिङ भन्दा फाइदाहरू:
- · FFKM को लागि 800°C बनाम <300°C को सामना गर्दछ
- · शून्य ग्यासिङ — भ्याकुम वातावरणको प्रदूषण नहुने
- · सबै प्लाज्मा रसायनहरू (फ्लोरिन, क्लोरिन, अक्सिजन) प्रतिरोधी।
- · कुनै कम्प्रेसन सेट वा स्थायी विकृति छैन
- · सफा वातावरणमा असीमित सेवा जीवन
सीमाहरू (आलोचनात्मक टिप्पणीहरू):
- · ओ-रिङ होइन— यो एउटा कडा सिरेमिक रिंग हो जसलाई सिल गर्न नरम ग्यास्केट (तामा, आल्मुनियम, वा ग्रेफाइट) चाहिन्छ।
- · गतिशील गति वा ठूलो फ्ल्यान्ज गलत अलाइनमेन्टलाई समायोजन गर्दैन।
- · पोलिमर ओ-रिङहरू भन्दा उच्च प्रारम्भिक लागत, तर लामो जीवनकालले स्वामित्वको लागत घटाउँछ।
- · भंगुर - सावधानीपूर्वक ह्यान्डल गर्नुहोस्; बिन्दु प्रभाव वा झुक्ने तनावबाट बच्नुहोस्।
नोट:माथिको डेटाले आपूर्ति गरिएको Al₂O₃ गुण तालिकालाई कडाईका साथ पालना गर्दछ। इलास्टोमेरिक सामग्रीहरूको लागि कुनै डेटा प्रदान गरिएको थिएन। यो उत्पादन एक स्थिर सिल रिंग हो, इलास्टोमेरिक ओ-रिंग होइन। कृपया पुष्टि गर्नुहोस् कि यसले तपाईंको आवेदन आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ कि गर्दैन।
