प्लाज्मा एच र सीभीडी प्रणालीहरूको लागि उच्च-शुद्धता एल्युमिना चेम्बर फोकस रिंग
सेन्ट सेराको चेम्बर फोकस रिङ प्लाज्मा इच, CVD, र PVD सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूमा प्रयोग हुने एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया किट घटक हो। ९९.८% उच्च-शुद्धता एल्युमिना (Al₂O₃) बाट निर्मित, रिङले प्लाज्मालाई सीमित गर्न र आयन कोणीय वितरणलाई अनुकूलन गर्न वेफर किनारालाई घेर्छ, जसले गर्दा वेफर सतहमा इच एकरूपतामा सुधार हुन्छ। सामग्रीले असाधारण प्लाज्मा प्रतिरोध, उच्च डाइइलेक्ट्रिक शक्ति (१५×१०⁶ V/m), र १६००°C सम्म थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ, जसले आक्रामक फ्लोरिन- वा क्लोरिन-आधारित प्लाज्मा वातावरणमा दीर्घकालीन विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्दछ। प्रेसिजन-ग्राउन्ड ID/OD र समतलता (≤१० μm) ले सही वेफर किनारा स्थिति सक्षम गर्दछ, किनारा दोषहरू र कण उत्पादन कम गर्दछ।
निर्दिष्टीकरणहरू(९९.८% Al मा आधारित)₂O₃):
| सम्पत्ति | मूल्य |
| सामाग्री | ९९.८% एल्युमिना (हात्तीदाँत) |
| घनत्व | ३.९३ ग्राम/सेमी³ |
| पानी अवशोषण | 0% |
| लचिलो शक्ति | ३६१ एमपीए |
| फ्र्याक्चरको कठोरता | ३–४ MPa·m¹/² |
| विकर्स कठोरता | १६ जिपीए |
| यंगको मोड्युलस | ३८० जिपीए |
| थर्मल चालकता | ३२ वाट/वर्ग किलोमिटर |
| थर्मल एक्सपान्सन (२५–१०००°C) | ७.२×१०⁻⁶/℃ |
| डाइलेक्ट्रिक शक्ति | १५×१०⁶ V/m |
| विशिष्ट प्रतिरोध | >१०¹⁴ Ω·सेमी |
| अधिकतम सञ्चालन तापक्रम | १६०० डिग्री सेल्सियस |
अनुप्रयोगहरू:
- · डाइलेक्ट्रिक इच चेम्बर फोकस रिंगहरू (अक्साइड, नाइट्राइड इच)
- · सिलिकन इच चेम्बर एज रिंगहरू
- · CVD चेम्बर प्रक्रिया किट रिंगहरू
- · PVD चेम्बर शिल्ड र क्ल्याम्प रिंगहरू
उत्पादन प्रक्रिया:
उच्च-शुद्धता भएको एल्युमिना पाउडरलाई आइसोस्टेटिक रूपमा थिचिन्छ → हरियो मेसिनले लगभग-नेट आकारमा → १६००°C मा सिन्टर्ड गरिन्छ → ID, OD, र मोटाईको CNC हीरा ग्राइन्डिङ → ल्यापिङ गरी समतलता ≤१० μm → अल्ट्रासोनिक सफाई → १००% CMM निरीक्षण प्राप्त गरिन्छ। सतह समाप्त Ra ≤०.४ μm ले कण आसंजनलाई कम गर्छ।
गुणस्तर नियन्त्रण:
- १००% आयामी निरीक्षण (आईडी, ओडी, मोटाई, समानान्तरता)
- · सूक्ष्म-चर्किएको ठाउँको लागि डाई पेनिट्रेन्ट परीक्षण (कुनै चिर्रा अनुमति छैन)
- · २०× माइक्रोस्कोप मुनि दृश्य निरीक्षण - कुनै चिप्स, खाली ठाउँ वा रङ्ग नलाग्ने
- · ASTM D149 (नमूना) प्रति डाइलेक्ट्रिक शक्ति परीक्षण
सिलिकन वा क्वार्ट्ज फोकस रिंगहरू भन्दा फाइदाहरू:
- · फ्लोरोकार्बन प्लाज्मामा ५-१०× लामो जीवनकाल
- · वेफरहरूलाई दूषित गर्न उपभोग्य क्षरण कणहरू छैनन्
- · उच्च डाइइलेक्ट्रिक शक्तिले आर्किङलाई रोक्छ
- · हजारौं आरएफ घण्टामा समतलता र आयामी शुद्धता कायम राख्छ।
वैकल्पिक सामग्री — यट्रिया-स्थिर जिरकोनिया (ZrO2)₂):
उच्च फ्र्याक्चर कठोरता आवश्यक पर्ने अनुप्रयोगहरूको लागि (जस्तै, बारम्बार थर्मल साइकल चलाउने वा मेकानिकल झटका भएका चेम्बरहरू), ZrO₂ फोकस रिङहरू (घनत्व 6.03 g/cm³, लचिलो शक्ति 1000 MPa, फ्र्याक्चर कठोरता 5-8 MPa·m¹/²) उपलब्ध छन्। यद्यपि, एल्युमिनाले राम्रो लागत-प्रभावकारिता प्रदान गर्दछ र धेरैजसो फोकस रिङ अनुप्रयोगहरूको लागि उद्योग मानक हो।
अनुकूलन:
- · ग्राहकको रेखाचित्र अनुसार स्टेप प्रोफाइल, काउन्टरबोर, वा माउन्टिङ प्वालहरू
- · प्लाज्मा क्षरण प्रतिरोध बढाउनको लागि Y₂O₃ कोटिंग (मोटाई २०-१०० μm)
- भाग नम्बर, मिति कोड, वा पङ्क्तिबद्ध चिन्हहरूको लेजर मार्किंग
नोट:सबै डेटाले आपूर्ति गरिएको Al₂O₃ गुण तालिकालाई कडाईका साथ पालना गर्दछ। ZrO₂ विशिष्टताहरूको लागि, आपूर्ति गरिएको जिरकोनिया डेटाशीट हेर्नुहोस्। फोकस रिंग डिजाइनहरूलाई पेटेन्ट क्लियरेन्स आवश्यक पर्न सक्छ — ग्राहकहरू बौद्धिक सम्पत्ति अधिकारहरू प्रमाणित गर्न जिम्मेवार छन्।
