वेफर ह्यान्डलिङको लागि उच्च-शुद्धता एल्युमिना सिरेमिक रोबोट आर्म
सेन्ट सेराको एल्युमिना सिरेमिक रोबोट आर्म ९९.८% उच्च-शुद्धता Al₂O₃ (एल्युमिना) बाट सटीक-इन्जिनियर गरिएको छ। यसले असाधारण लचिलो शक्ति (३६१ MPa), उच्च कठोरता (१६ GPa), र कम घनत्व (३.९३ g/cm³) संयोजन गर्दछ, जसले गर्दा अर्धचालक वेफर स्थानान्तरणको लागि हल्का तर कठोर आर्म हुन्छ। सामग्रीको थर्मल विस्तार गुणांक (७.२×१०⁻⁶/°C) सिलिकनसँग नजिकबाट मेल खान्छ, प्रशोधनको क्रममा थर्मल बेमेललाई कम गर्छ।
निर्दिष्टीकरणहरू (९९.८% Al₂O₃ मा आधारित):
| सम्पत्ति | मूल्य |
| रङ | आइवरी |
| घनत्व | ३.९३ ग्राम/सेमी³ |
| लचिलो शक्ति | ३६१ एमपीए |
| विकर्स कठोरता | १६ जिपीए |
| यंगको मोड्युलस | ३८० जिपीए |
| थर्मल चालकता | ३२ वाट/वर्ग किलोमिटर |
| थर्मल विस्तार | ७.२×१०⁻⁶/℃ |
| डाइलेक्ट्रिक शक्ति | १५×१०⁶ V/m |
अनुप्रयोगहरू:
- भ्याकुम वेफर ट्रान्सफर रोबोट (२०० मिमी/३०० मिमी)
- वायुमण्डलीय ह्यान्डलिंग प्रणालीहरू
- FAB स्वचालनको लागि अन्त्य प्रभावकारी हातहरू
उत्पादन प्रक्रिया:
आइसोस्टेटिक प्रेसिंग → हरियो मेसिनिंग → १६००°C मा सिंटरिंग → CNC प्रेसिजन ग्राइन्डिंग → अल्ट्रासोनिक सफाई → कक्षा १०० क्लिनरूम प्याकेजिङ। प्रत्येक पाखुरा समतलता (±०.०१ मिमी) र सतह खुरदरापन (Ra ≤०.४ μm) को लागि CMM द्वारा १००% निरीक्षण गरिन्छ।
गुणस्तर नियन्त्रण:
St.Cera ISO 9001:2015 प्रमाणित छ। हामी माइक्रो-क्र्याक्सको लागि डाई पेनिट्रन्ट परीक्षण, फ्लेक्सुरल शक्तिको लागि तीन-बिन्दु बेन्डिङ, र ASTM D149 अनुसार डाइइलेक्ट्रिक शक्ति परीक्षण गर्छौं।
धातुका हतियारहरू भन्दा फाइदाहरू:
- स्टेनलेस स्टील भन्दा ५०% हल्का
- कुनै ग्याल्भेनिक क्षरण छैन
- कम कण उत्पादन (≤०.०५ कण/सेमी²)
- ESD-सुरक्षित कोटिंग उपलब्ध छ (१०⁶–१०⁹ Ω/वर्ग)
अनुकूलन:
१५० मिमी देखि ४५० मिमी सम्मको लम्बाइ, टिप आकारहरू (एज ग्रिप, बर्नौली, भ्याकुम), र OEM रेखाचित्र अनुसार माउन्टिङ फ्ल्यान्ज ढाँचाहरू। २ हप्तामा प्रोटोटाइपहरू।
थोक अर्डरहरूको लागि, कृपया उद्धरण अनुरोध गर्नुहोस्।
