सिलिकन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक एन्ड इफेक्टर - उच्च-तापमान वेफर ह्यान्डलिङको लागि उच्च कठोरता
St.Cera को SiC सिरेमिक एन्ड इफेक्टर S1111 ब्याच सामग्री प्रयोग गरेर उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड (SiC सामग्री 99.72%, मुक्त Si 0.05%) बाट निर्मित छ। यसले असाधारण मेकानिकल गुणहरू प्रदान गर्दछ: लचिलो शक्ति 449 MPa (मापन गरिएको), लोचदार मोड्युलस 457 GPa (मापन गरिएको), र विकर्स कठोरता 25-28 GPa (सामान्य)। कम घनत्व (3.10-3.15 g/cm³, विशिष्ट) ले उच्च विशिष्ट कठोरता प्रदान गर्दछ, जुन उच्च-गति वेफर स्थानान्तरण रोबोटहरूको लागि आदर्श हो। 120-150 W/m·K (सामान्य) को थर्मल चालकता र 4.0-4.5×10⁻⁶/℃ (सामान्य) को थर्मल विस्तार गुणांकको साथ, यो एन्ड इफेक्टरले प्रभावकारी रूपमा गर्मीलाई नष्ट गर्दछ र उच्च-तापमान ह्यान्डलिङको समयमा आयामी स्थिरता कायम राख्छ (1600-1700°C सम्म, कुनै भार छैन)। कालो/खैरो रंग र शून्य पानी अवशोषणले सफा कोठा अनुकूलता सुनिश्चित गर्दछ।
निर्दिष्टीकरणहरू(आपूर्ति गरिएको SiC S1111 परीक्षण रिपोर्ट र विशिष्ट मानहरूमा आधारित)):
| सम्पत्ति | मूल्य |
| सामाग्री | SiC (९९.७२% SiC, ०.०५% नि:शुल्क Si) |
| रङ | कालो/खैरो |
| घनत्व | ३.१०–३.१५ ग्राम/सेमी³ |
| पानी अवशोषण | 0% |
| लचिलो शक्ति | ४४९ MPa (औसत) |
| फ्र्याक्चरको कठोरता | ३.१२ MPa·m¹/² (औसत) |
| इलास्टिक मोड्युलस | ४५७ जिपीए |
| विकर्स कठोरता | २५–२८ जिपीए |
| तापीय चालकता (२५°C) | १२०–१५० वाट/वर्ग किलोवाट |
| CTE (२५–१००० डिग्री सेल्सियस) | ४.०–४.५×१०⁻⁶/℃ |
| अधिकतम प्रयोग तापक्रम (भार छैन) | १६००–१७०० डिग्री सेल्सियस |
अनुप्रयोगहरू:
● उच्च-तापमान वेफर ह्यान्डलिङ (पोस्ट-एनियल, RTP, एपिटेक्सी)
● उच्च क्षरण प्रतिरोध आवश्यक पर्ने प्लाज्मा इच चेम्बरहरू
● उच्च-गति स्थानान्तरण रोबोटहरू (हल्का तौल, उच्च कठोरता)
निर्माण:
SiC पाउडर सिन्टरिङ → आर्म प्रोफाइल र माउन्टिङ सुविधाहरूको सटीक CNC ग्राइन्डिङ → सतह ल्यापिङ → अल्ट्रासोनिक सफाई। भ्याकुम अनुप्रयोगहरूको लागि १००% आयामी निरीक्षण र हेलियम चुहावट परीक्षण।
गुणस्तर नियन्त्रण:
● लम्बाइ, चौडाइ र समतलताको CMM निरीक्षण
● प्रति ब्याच लचकदार शक्ति परीक्षण (प्रति परीक्षण रिपोर्ट मानक)
● सतह दोषहरूको लागि माइक्रोस्कोप मुनि दृश्य निरीक्षण
एल्युमिना वा धातु भन्दा फाइदाहरू:
● २× उच्च इलास्टिक मोड्युलस (४५७ बनाम एल्युमिनाको लागि ~३८० GPa) - कम विक्षेपन
● ३× उच्च तापीय चालकता - छिटो ताप अपव्यय
● हावामा एल्युमिनाको ८००°C भन्दा बढी तापक्रम सहन सक्छ
● स्टील भन्दा कम घनत्व - ४०% तौल घटाउने
अनुकूलन:
लम्बाइ १५०–४५० मिमी, टिप आकारहरू (किनारा ग्रिप, बर्नौली, फ्ल्याट), प्रति OEM रेखाचित्र माउन्टिंग फ्ल्यान्ज ढाँचाहरू।
*माथिका सबै मेकानिकल डेटा आपूर्ति गरिएको परीक्षण रिपोर्ट (ब्याच S1111) बाट आउँछ। यस SiC ग्रेडको लागि थर्मल र कठोरता मानहरू विशिष्ट छन्; लट-विशिष्ट प्रमाणीकरणको लागि कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।*
