३०० मिमी वेफर प्रशोधनको लागि १२-इन्च एल्युमिना भ्याकुम चक

सेन्टसेराको १२ इन्चको भ्याकुम चक ३०० मिमी वेफर ह्यान्डलिङको लागि ९९.८% उच्च-शुद्धता एल्युमिना (Al₂O₃) बाट सटीक-इन्जिनियर गरिएको छ। चकमा ३०० मिमी व्यासमा एकरूप भ्याकुम वितरण सुनिश्चित गर्न फाइन-ग्रूभ्ड सतह (ग्रूभ चौडाइ ०.५–१.० मिमी, पिच २–३ मिमी) रहेको छ। ५ μm भित्र समतलता कायम राखिएको छ, जसले गर्दा डाइसिङ, ब्याकसाइड ग्राइन्डिङ र निरीक्षणको समयमा वार्प-मुक्त वेफर फिक्सेसन सक्षम हुन्छ। सामग्रीको उच्च फ्लेक्सरल बल (३६१ MPa) र कठोरता (१६ GPa) ले दोहोरिने भ्याकुम चक्रहरूमा पनि दीर्घकालीन आयामी स्थिरताको ग्यारेन्टी दिन्छ।

निर्दिष्टीकरणहरू (९९.८% Al₂O₃ मा आधारित):

अनुप्रयोगहरू:

३०० मिमी वेफर डाइसिङ र स्क्राइबिङ
वेफरको पछाडिको भाग ग्राइन्डिङ (पातलो वेफर सपोर्ट)
 अप्टिकल निरीक्षण र जाँच
अस्थायी बन्धन/डिबन्डिङ चकहरू

निर्माण:

CNC ग्राउन्ड गरिएको र अन्तिम समतलतामा ल्याप गरिएको, हीराको पाङ्ग्राले ग्रुभ गरिएको, अल्ट्रासोनिक रूपमा सफा गरिएको, र कक्षा १०० क्लिनरूममा प्याकेज गरिएको। प्रत्येक चक समतलता (लेजर इन्टरफेरोमिटर) र ग्रुभ डेप्थ (प्रोफाइलोमिटर) को लागि १००% निरीक्षण गरिएको छ।

फाइदाहरू:

कम कण उत्पादन (≤०.०५ कण/सेमी²)

 रासायनिक रूपमा विलायक र एसिडहरूमा निष्क्रिय

ESD-सुरक्षित सतह (प्रतिरोधकता >१०¹³ Ω·सेमी)

अनुकूलन भ्याकुम होल ढाँचाहरू र पछाडिको पोर्टहरू उपलब्ध छन्।