पेज_ब्यानर

पातलो वेफर ह्यान्डलिङको लागि एल्युमिना-आधारित पोरस सिरेमिक भ्याकुम चक

पातलो वेफर ह्यान्डलिङको लागि एल्युमिना-आधारित पोरस सिरेमिक भ्याकुम चक

छोटो वर्णन:

सेन्टसेराको एल्युमिना-आधारित पोरस चक ९९.६% उच्च-शुद्धता Al₂O₃ बाट निर्मित छ जसमा ३०-४५% को नियन्त्रित खुला पोरोसिटी र १० देखि ५० μm सम्मको एकरूप पोर आकार हुन्छ। ग्रुभ्ड चकहरू भन्दा फरक, पोरस सतहले सम्पूर्ण वेफर ब्याकसाइडमा वितरित भ्याकुम प्रदान गर्दछ, किनारा चिन्ह हटाउँछ र अल्ट्रा-थिन (≤१०० μm) वा विकृत वेफरहरूको कोमल होल्डिंग सक्षम गर्दछ। सामग्रीले ≥२५० MPa को लचिलो शक्ति र हावामा ४००°C सम्म थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ।


उत्पादन विवरण

उत्पादन ट्यागहरू

सेन्टसेराको एल्युमिना-आधारित पोरस चक ९९.६% उच्च-शुद्धता Al₂O₃ बाट निर्मित छ जसमा ३०-४५% को नियन्त्रित खुला पोरोसिटी र १० देखि ५० μm सम्मको एकरूप पोर आकार हुन्छ। ग्रुभ्ड चकहरू भन्दा फरक, पोरस सतहले सम्पूर्ण वेफर ब्याकसाइडमा वितरित भ्याकुम प्रदान गर्दछ, किनारा चिन्ह हटाउँछ र अल्ट्रा-थिन (≤१०० μm) वा विकृत वेफरहरूको कोमल होल्डिंग सक्षम गर्दछ। सामग्रीले ≥२५० MPa को लचिलो शक्ति र हावामा ४००°C सम्म थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ।

 

निर्दिष्टीकरणहरू(९९.६% Al मा आधारित)O):

सम्पत्ति मूल्य
सामाग्री ९९.६% एल्युमिना (सेतो)
पोरोसिटी ३०–४५% (समायोज्य)
औसत छिद्र आकार १०–५० माइक्रोमिटर
लचिलो शक्ति ≥२५० MPa
घनत्व ३.८८ ग्राम/सेमी³
समतलता (२०० मिमी भन्दा बढी) ≤५ माइक्रोमिटर
अधिकतम सञ्चालन तापक्रम ४००°C (हावा)
सतह समाप्त ल्याप गरिएको (Ra ≤0.8 μm)

 

अनुप्रयोगहरू:

  • · पातलो वेफर (≤५० μm) पछाडिको भाग पिस्दै
  • · डाइसिङको लागि वार्प्ड वेफर माउन्टिङ
  • · एकल डाई पिक-अप
  • · गिलास सब्सट्रेट ह्यान्डलिङ

 

निर्माण:

पोर फर्मरहरूसँग मिसाइएको पाउडर → आइसोस्टेटिक प्रेसिङ → १६००°C मा सिन्टरिङ → अन्तिम मोटाईमा ल्यापिङ। प्रत्येक चकलाई भ्याकुम एकरूपता (दबाव विचलन <५%) को लागि प्रवाह-परीक्षण गरिन्छ र पोर साइज वितरण (SEM) को लागि निरीक्षण गरिन्छ।

 

परम्परागत चकहरू भन्दा फाइदाहरू:

  • · वेफरको पछाडिको भागमा मार्किङ वा डाइ सिफ्ट छैन
  • · ५०० μm सम्मको बो भएको वेफर समात्छ
  • · स्व-सफाई गर्ने सतह (छिद्रहरू बन्द हुने प्रतिरोधी)
  • · एकरूप समर्थनले स्थानीय तनाव हटाउँछ

 

Cअनुकूलन:

गोलो वा वर्ग आकार, व्यास १००-४५० मिमी। जोन गरिएको भ्याकुम नियन्त्रणको लागि किनारा सिलिङ रिङ उपलब्ध छ।

 

तपाईंको विशिष्ट वेफर आकारको लागि नमूना अनुरोध गर्नुहोस्।


  • अघिल्लो:
  • अर्को: