वार्प्ड वेफर ह्यान्डलिङको लागि पोरस सिरेमिक भ्याकुम चक
सेन्टसेराको छिद्रपूर्ण सिरेमिक चक उच्च-शुद्धता एल्युमिनाबाट बनाइएको हो जसको एकसमान खुला छिद्र ३०-४५% र छिद्र आकार १० देखि १०० μm सम्म हुन्छ। परम्परागत ग्रुभ्ड चकहरू भन्दा फरक, छिद्रपूर्ण सतहले सम्पूर्ण वेफर ब्याकसाइडमा वितरित भ्याकुम प्रदान गर्दछ, प्रभावकारी रूपमा विकृत, पातलो, वा सिंगुलेटेड वेफरहरूलाई किनारा लिफ्ट-अफ वा ब्रेकेज बिना समात्छ। कोमल भ्याकुम (रिस्ट्रक्टर मार्फत समायोज्य) ले ब्याकसाइड मार्किङलाई पनि रोक्छ।
निर्दिष्टीकरणहरू(९९.६% Al मा आधारित)₂O₃):
| सम्पत्ति | मूल्य |
| पोरोसिटी | ३०–४५% |
| औसत छिद्र आकार | १०–१०० माइक्रोमिटर (चयन गर्न सकिने) |
| लचिलो शक्ति | ≥२५० MPa |
| समतलता (३०० मिमी भन्दा बढी) | ≤५ माइक्रोमिटर |
| सतह समाप्त | ल्याप गरिएको (Ra ०.८ μm) |
| अधिकतम भ्याकुम स्तर | -८० केपीए |
| सञ्चालन तापक्रम | ४००°C (हावा), ६००°C (जड) |
| सामाग्री | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, वा SiC |
अनुप्रयोगहरू:
पातलो वेफर (≤५० μm) पछाडिको भाग ग्राइन्डिङ
डाइसिङको लागि वार्प्ड वेफर माउन्टिङ
टेपबाट सिंगुलेटेड डाई पिक-अप
गिलास प्यानल ह्यान्डलिङ
उत्पादन र गुणस्तर:
सिरेमिक पाउडरलाई अर्गानिक पोर फर्मरहरूसँग मिसाइन्छ → थिचिएको → सिन्टर्ड गरिएको → अन्तिम मोटाईमा ल्याप गरिएको। प्रत्येक चकलाई भ्याकुम एकरूपता (≤5% विचलन) को लागि प्रवाह-परीक्षण गरिन्छ र पोर साइज वितरण (SEM) को लागि निरीक्षण गरिन्छ। लेजर इन्टरफेरोमिटरको साथ समतलता मापन गरिन्छ।
ग्रुभ्ड चकहरू भन्दा फाइदाहरू:
वेफर एज मार्किङ वा डाइ सिफ्ट छैन
विकृत वेफरहरू समात्छ (५०० μm धनु सम्म)
भ्याकुम प्वालको अवरोध हटाउँछ
पातलो सब्सट्रेटहरूको लागि स्व-स्तरीकरण समर्थन
अनुकूलन:
गोलाकार वा आयताकार आकारहरू, ६०० मिमी सम्मको आकार। हामी किनारा सिलिङ रिङहरू वा जोन भ्याकुम विभाजनहरू लागू गर्न सक्छौं। उच्च-कठोरता आवश्यकताहरूको लागि धातु-समर्थित संस्करणहरू उपलब्ध छन्।
तपाईंको वेफर साइज र वारपेज परीक्षणको लागि नमूना अनुरोध गर्नुहोस्।
