-
वेफर ह्यान्डलिङको लागि उच्च-शुद्धता एल्युमिना सिरेमिक रोबोट आर्म
सेन्ट सेराको एल्युमिना सिरेमिक रोबोट आर्म ९९.८% उच्च-शुद्धता Al₂O₃ (एल्युमिना) बाट सटीक-इन्जिनियर गरिएको छ। यसले असाधारण लचिलो शक्ति (३६१ MPa), उच्च कठोरता (१६ GPa), र कम घनत्व (३.९३ g/cm³) संयोजन गर्दछ, जसले गर्दा अर्धचालक वेफर स्थानान्तरणको लागि हल्का तर कठोर आर्म हुन्छ। सामग्रीको थर्मल विस्तार गुणांक (७.२×१०⁻⁶/°C) सिलिकनसँग नजिकबाट मेल खान्छ, प्रशोधनको क्रममा थर्मल बेमेललाई कम गर्छ।
-
बर्नौली सिरेमिक एन्ड इफेक्टर — पातलो र कमजोर वेफरहरूको लागि गैर-सम्पर्क वेफर ह्यान्डलिंग
सेन्ट सेराको बर्नौली सिरेमिक एन्ड इफेक्टरले भौतिक सम्पर्क बिना वेफरहरू ह्यान्डल गर्न एरोडायनामिक लिफ्ट प्रयोग गर्दछ। उच्च-शुद्धता ९९.८% एल्युमिना (Al₂O₃) वा सिलिकन कार्बाइड (SiC) बाट निर्मित, यसमा प्रेसिजन-मेशिन गरिएको नोजलहरू छन् जसले एन्ड इफेक्टर र वेफर बीच पातलो हावा फिल्म सिर्जना गर्न दबाबयुक्त ग्यास निकाल्छ। यो गैर-सम्पर्क सिद्धान्तले पछाडिको प्रदूषण, किनारा चिपिङ, र सतहको क्षतिलाई हटाउँछ, जसले यसलाई पातलो (≤१०० μm), नाजुक, वा विकृत वेफरहरूको लागि आदर्श बनाउँछ। सिरेमिक सब्सट्रेटले उच्च लचिलो शक्ति (Al₂O₃ को लागि ३६१ MPa; SiC को लागि ५५०-६०० MPa सम्म), कम द्रव्यमान, र उत्कृष्ट आयामी स्थिरता प्रदान गर्दछ, उच्च-गति वेफर स्थानान्तरण रोबोटहरूमा दोहोरिने योग्य स्थिति सुनिश्चित गर्दछ।
-
टेफ्लोन लेपित सिरेमिक एन्ड इफेक्टर - संवेदनशील वेफर ह्यान्डलिङको लागि नन-स्टिक सतह
सेन्ट सेराको टेफ्लोन (PTFE) लेपित सिरेमिक एन्ड इफेक्टरले उच्च-शक्तिको एल्युमिना सब्सट्रेटलाई एकसमान, कम-घर्षण PTFE कोटिंग (मोटाई १५-३० μm) सँग जोड्दछ। कोटिंगले घर्षणको अत्यन्तै कम गुणांक (≤०.१), उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध, र नन-स्टिक गुणहरू प्रदान गर्दछ, वेफर आसंजनलाई रोक्छ र पछाडिको प्रदूषण हटाउँछ। अन्तर्निहित सिरेमिक सब्सट्रेट (९९.८% Al₂O₃) ले उच्च लचिलो शक्ति (३६१-१००० MPa), पहिरन प्रतिरोध, र २६०°C (कोटिंग सीमा) सम्म थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ। यो एन्ड इफेक्टर नाजुक, पातलो, वा टाँसिने वेफरहरू (जस्तै, फोटोरेसिस्ट कोटिंग वा रासायनिक प्रक्रियाहरू पछि) ह्यान्डल गर्नको लागि आदर्श हो।
