-
एल्युमिना उच्च-परिशुद्धता सिरेमिक रिंग सिरेमिक पार्ट्स
चिसो आइसोस्टेटिक प्रेसिंग द्वारा बनाईएको र उच्च तापक्रममा सिंटर गरिएको, त्यसपछि सटीक मेशिन र पालिश गरिएको, सिरेमिक स्पेयर पार्ट्सले अर्धचालक उपकरणको कुनै पनि कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ जसको पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार, र इन्सुलेशन जस्ता सुविधाहरू छन्। सिरेमिकले लामो समयसम्म उच्च तापक्रम, भ्याकुम वा संक्षारक ग्यासको अवस्थामा धेरै प्रकारका अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा काम गर्न सक्छ।
उच्च-शुद्धता एल्युमिना पाउडरबाट बनेको, कोल्ड आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, उच्च तापक्रम सिन्टरिंग र प्रेसिजन फिनिशिंग द्वारा प्रशोधन गरिएको, यो आयाम सहनशीलता ± ०.००१ मिमी, सतह फिनिश रा ०.१, तापमान प्रतिरोध १६०० ℃ सम्म पुग्न सक्छ।
-
ST.CERA अनुकूलित अर्धचालक उपकरण सिरेमिक चकहरू
चिसो आइसोस्टेटिक प्रेसिंग द्वारा बनाईएको र उच्च तापक्रममा सिंटर गरिएको, त्यसपछि सटीक मेशिन र पालिश गरिएको, सिरेमिक स्पेयर पार्ट्सले अर्धचालक उपकरणको कुनै पनि कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ जसको पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार, र इन्सुलेशन जस्ता सुविधाहरू छन्। सिरेमिकले लामो समयसम्म उच्च तापक्रम, भ्याकुम वा संक्षारक ग्यासको अवस्थामा धेरै प्रकारका अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा काम गर्न सक्छ।
उच्च-शुद्धता एल्युमिना पाउडरबाट बनेको, कोल्ड आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, उच्च तापक्रम सिन्टरिंग र प्रेसिजन फिनिशिंग द्वारा प्रशोधन गरिएको, यो आयाम सहनशीलता ± ०.००१ मिमी, सतह फिनिश रा ०.१, तापमान प्रतिरोध १६०० ℃ सम्म पुग्न सक्छ।
-
सिलिकन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक एन्ड इफेक्टर - उच्च-तापमान वेफर ह्यान्डलिङको लागि उच्च कठोरता
St.Cera को SiC सिरेमिक एन्ड इफेक्टर S1111 ब्याच सामग्री प्रयोग गरेर उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड (SiC सामग्री 99.72%, मुक्त Si 0.05%) बाट निर्मित छ। यसले असाधारण मेकानिकल गुणहरू प्रदान गर्दछ: लचिलो शक्ति 449 MPa (मापन गरिएको), लोचदार मोड्युलस 457 GPa (मापन गरिएको), र विकर्स कठोरता 25-28 GPa (सामान्य)। कम घनत्व (3.10-3.15 g/cm³, विशिष्ट) ले उच्च विशिष्ट कठोरता प्रदान गर्दछ, जुन उच्च-गति वेफर स्थानान्तरण रोबोटहरूको लागि आदर्श हो। 120-150 W/m·K (सामान्य) को थर्मल चालकता र 4.0-4.5×10⁻⁶/℃ (सामान्य) को थर्मल विस्तार गुणांकको साथ, यो एन्ड इफेक्टरले प्रभावकारी रूपमा गर्मीलाई नष्ट गर्दछ र उच्च-तापमान ह्यान्डलिङको समयमा आयामी स्थिरता कायम राख्छ (1600-1700°C सम्म, कुनै भार छैन)। कालो/खैरो रंग र शून्य पानी अवशोषणले सफा कोठा अनुकूलता सुनिश्चित गर्दछ।
-
उच्च-तापमान र प्लाज्मा वातावरणको लागि सिलिकन कार्बाइड (SiC) आधारित भ्याकुम चक
सेन्ट सेराको SiC-आधारित सिरेमिक चक उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड (ब्याच S1111, SiC 99.72%, नि:शुल्क Si 0.05%) बाट निर्मित छ। यसले 449 MPa को मापन गरिएको लचिलो शक्ति, 3.12 MPa·m¹/² को फ्र्याक्चर कठोरता, र 457 GPa को लोचदार मोड्युलस प्रदान गर्दछ। सामग्रीको विशिष्ट थर्मल चालकता (120–150 W/m·K) र कम थर्मल विस्तार (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ले थर्मल साइकल चलाउँदा द्रुत तापक्रम र्याम्पिङ र न्यूनतम वेफर वारपेज सक्षम बनाउँछ। चकलाई छिद्रपूर्ण भ्याकुम चक (एकसमान ग्यास प्रवाह) वा ग्रुभ्ड मानक चकको रूपमा कन्फिगर गर्न सकिन्छ। १६००–१७००°C (कुनै लोड छैन) को अधिकतम प्रयोग तापमान र असाधारण प्लाज्मा इरोसन प्रतिरोधको साथ, यो चक उच्च-तापमान वेफर प्रशोधन (एनिलिंग, RTP) र आक्रामक इच चेम्बरहरूको लागि आदर्श हो जहाँ एल्युमिना चकहरू घट्छन्।
-
अर्धचालक उपकरण सिरेमिक स्पेयर पार्ट्स सिरेमिक वाहकहरू
चिसो आइसोस्टेटिक प्रेसिंग द्वारा बनाईएको र उच्च तापक्रममा सिंटर गरिएको, त्यसपछि सटीक मेशिन र पालिश गरिएको, सिरेमिक स्पेयर पार्ट्सले अर्धचालक उपकरणको कुनै पनि कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ जसको पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार, र इन्सुलेशन जस्ता सुविधाहरू छन्। सिरेमिकले लामो समयसम्म उच्च तापक्रम, भ्याकुम वा संक्षारक ग्यासको अवस्थामा धेरै प्रकारका अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा काम गर्न सक्छ।
उच्च-शुद्धता एल्युमिना पाउडरबाट बनेको, कोल्ड आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, उच्च तापक्रम सिन्टरिंग र प्रेसिजन फिनिशिंग द्वारा प्रशोधन गरिएको, यो आयाम सहनशीलता ± ०.००१ मिमी, सतह फिनिश रा ०.१, तापमान प्रतिरोध १६०० ℃ सम्म पुग्न सक्छ।
-
उच्च-कठोरता ल्यापिङ अनुप्रयोगहरूको लागि धातु-समर्थित एल्युमिना सिरेमिक ग्राइन्डिङ रिंग
सेन्ट सेराको धातुमा आधारित एल्युमिना ग्राइन्डिङ रिङले उच्च-शुद्धता एल्युमिना (९९.८% Al₂O₃) सिरेमिक वेयर लेयरलाई प्रेसिजन-मेशिन गरिएको धातु ब्याकिङ (सामान्यतया एल्युमिनियम वा स्टेनलेस स्टील) सँग जोड्दछ। यो हाइब्रिड डिजाइनले ग्राइन्डिङ सतहमा सिरेमिकको असाधारण वेयर प्रतिरोध र रासायनिक जडता प्रदान गर्दछ, जबकि धातुको आधारले मेकानिकल बल, सजिलो माउन्टिङ, र भंगुर फ्र्याक्चरको प्रतिरोध थप्छ। एल्युमिना तहले ३६१ MPa को लचिलो शक्ति, १६ GPa को विकर्स कठोरता, र ८००°C सम्म थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ। धातुको आधारलाई ल्यापिङ मेसिन, प्लानेटरी ग्राइन्डर र CMP उपकरणहरूमा एकीकरणको लागि माउन्टिङ प्वालहरू, लोकेटिंग पिनहरू, वा चुम्बकीय गुणहरूसँग अनुकूलित गरिएको छ।
-
सेमीकन्डक्टर प्रोब स्टेशन उपकरणको लागि सिरेमिक स्पेयर पार्ट्स
चिसो आइसोस्टेटिक प्रेसिंग द्वारा बनाईएको र उच्च तापक्रममा सिंटर गरिएको, त्यसपछि सटीक मेशिन र पालिश गरिएको, सिरेमिक स्पेयर पार्ट्सले अर्धचालक उपकरणको कुनै पनि कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ जसको पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार, र इन्सुलेशन जस्ता सुविधाहरू छन्। सिरेमिकले लामो समयसम्म उच्च तापक्रम, भ्याकुम वा संक्षारक ग्यासको अवस्थामा धेरै प्रकारका अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा काम गर्न सक्छ।
उच्च-शुद्धता एल्युमिना पाउडरबाट बनेको, कोल्ड आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, उच्च तापक्रम सिन्टरिंग र प्रेसिजन फिनिशिंग द्वारा प्रशोधन गरिएको, यो आयाम सहनशीलता ± ०.००१ मिमी, सतह फिनिश रा ०.१, तापमान प्रतिरोध १६०० ℃ सम्म पुग्न सक्छ।
-
Al2O3 सिरेमिक वेफर चकको अनुकूलित प्रशोधन
चिसो आइसोस्टेटिक प्रेसिंग द्वारा बनाईएको र उच्च तापक्रममा सिंटर गरिएको, त्यसपछि सटीक मेशिन र पालिश गरिएको, सिरेमिक स्पेयर पार्ट्सले अर्धचालक उपकरणको कुनै पनि कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ जसको पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार, र इन्सुलेशन जस्ता सुविधाहरू छन्। सिरेमिकले लामो समयसम्म उच्च तापक्रम, भ्याकुम वा संक्षारक ग्यासको अवस्थामा धेरै प्रकारका अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा काम गर्न सक्छ।
उच्च-शुद्धता एल्युमिना पाउडरबाट बनेको, कोल्ड आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, उच्च तापक्रम सिन्टरिंग र प्रेसिजन फिनिशिंग द्वारा प्रशोधन गरिएको, यो आयाम सहनशीलता ± ०.००१ मिमी, सतह फिनिश रा ०.१, तापमान प्रतिरोध १६०० ℃ सम्म पुग्न सक्छ।
-
ST.CERA अनुकूलित अर्धचालक उपकरण सिरेमिक प्लेट
चिसो आइसोस्टेटिक प्रेसिंग द्वारा बनाईएको र उच्च तापक्रममा सिंटर गरिएको, त्यसपछि सटीक मेशिन र पालिश गरिएको, सिरेमिक स्पेयर पार्ट्सले अर्धचालक उपकरणको कुनै पनि कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ जसको पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार, र इन्सुलेशन जस्ता सुविधाहरू छन्। सिरेमिकले लामो समयसम्म उच्च तापक्रम, भ्याकुम वा संक्षारक ग्यासको अवस्थामा धेरै प्रकारका अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा काम गर्न सक्छ।
उच्च-शुद्धता एल्युमिना पाउडरबाट बनेको, कोल्ड आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, उच्च तापक्रम सिन्टरिंग र प्रेसिजन फिनिशिंग द्वारा प्रशोधन गरिएको, यो आयाम सहनशीलता ± ०.००१ मिमी, सतह फिनिश रा ०.१, तापमान प्रतिरोध १६०० ℃ सम्म पुग्न सक्छ।
-
३०० मिमी वेफर प्रशोधनको लागि १२-इन्च एल्युमिना भ्याकुम चक
सेन्टसेराको १२ इन्चको भ्याकुम चक ३०० मिमी वेफर ह्यान्डलिङको लागि ९९.८% उच्च-शुद्धता एल्युमिना (Al₂O₃) बाट सटीक-इन्जिनियर गरिएको छ। चकमा ३०० मिमी व्यासमा एकरूप भ्याकुम वितरण सुनिश्चित गर्न फाइन-ग्रूभ्ड सतह (ग्रूभ चौडाइ ०.५–१.० मिमी, पिच २–३ मिमी) रहेको छ। ५ μm भित्र समतलता कायम राखिएको छ, जसले गर्दा डाइसिङ, ब्याकसाइड ग्राइन्डिङ र निरीक्षणको समयमा वार्प-मुक्त वेफर फिक्सेसन सक्षम हुन्छ। सामग्रीको उच्च फ्लेक्सरल बल (३६१ MPa) र कठोरता (१६ GPa) ले दोहोरिने भ्याकुम चक्रहरूमा पनि दीर्घकालीन आयामी स्थिरताको ग्यारेन्टी दिन्छ।
-
एकीकृत भ्याकुम च्यानलहरू सहितको एल्युमिना सिरेमिक एन्ड इफेक्टर
सेन्टसेराको एल्युमिना भ्याकुम एन्ड इफेक्टरले ९९.८% उच्च-शुद्धता एल्युमिना बडीमा सिधै प्रेसिजन-मेसिन गरिएको भ्याकुम च्यानलहरू र सक्शन होलहरूलाई एकीकृत गर्दछ। यो डिजाइनले बाह्य भ्याकुम प्याडहरूलाई हटाउँछ, एकसमान होल्डिंग बलको साथ प्रत्यक्ष वेफर पिकअप सक्षम पार्छ। सामग्रीको उच्च फ्लेक्सुरल शक्ति (३६१ MPa) र कठोरता (१६ GPa) ले दोहोरिने भ्याकुम चक्र अन्तर्गत दीर्घकालीन आयामी स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ। प्याड क्षेत्रमा समतलता १० μm भित्र कायम राखिएको छ, वेफर तनाव र ब्रेकेजलाई रोक्छ। भ्याकुम पोर्टहरू OEM रोबोट आर्महरूसँग सजिलो एकीकरणको लागि पछाडिको माउन्टिंग फ्ल्यान्जमा अवस्थित छन्।
-
स्थिर-संवेदनशील वेफर ह्यान्डलिङको लागि ESD-सुरक्षित एल्युमिना सिरेमिक पार्ट्स
सेन्ट सेराको ESD (इलेक्ट्रोस्टेटिक डिस्चार्ज) सुरक्षित एल्युमिना सिरेमिक भागहरू ९९.८% उच्च-शुद्धता Al₂O₃ बाट निर्मित हुन्छन् जसको सतह प्रतिरोधकता १०⁶–१०⁹ Ω/वर्ग हुन्छ, जुन स्वामित्व डोपिङ वा कोटिंग प्रक्रिया मार्फत प्राप्त गरिन्छ। यी भागहरूले संवेदनशील अर्धचालक वेफर र उपकरणहरूमा इलेक्ट्रोस्टेटिक क्षतिलाई रोक्दै, स्थिर चार्जलाई प्रभावकारी रूपमा नष्ट गर्छन्। आधार सामग्रीले यसको उच्च लचिलो शक्ति (३६१ MPa), कठोरता (१६ GPa), र डाइइलेक्ट्रिक शक्ति (१५×१०⁶ V/m) कायम राख्छ। ESD-सुरक्षित सिरेमिक भागहरूमा अन्तिम प्रभावकहरू, लिफ्ट पिनहरू, गाइड रेलहरू, र FAB स्वचालनको लागि अनुकूल फिक्स्चरहरू समावेश छन्।
